欢迎光临上海蕊丰电气设备有限公司!
您当前的位置:首页 > 新闻动态 > 行业新闻 > 惰性气体的精确控制

行业新闻

惰性气体的精确控制

来源:https://press.festo.com/ 发布时间:2024-10-17 点击次数:
采用压电技术的 Festo 质量流量控制器 VEFC
无论何时需要精确控制惰性气体,Festo 质量流量控制器 VEFC 都是正确的选择。得益于压电技术,它结构紧凑、灵活,并具有出色的性价比。它特别适用于电子制造、食品生产以及机械制造中需要保护气体的任何地方。
Festo 质量流量控制器 VEFC 是市场上最紧凑的控制器之一,流量可达 200 l/min。由于数字化,流量保持恒定。这意味着这种用于惰性气体的动态、直接控制压电阀无需手动调节。只需几毫秒即可精确调整流量及其设置,并且保持防篡改。这为用户提供了生产过程所需的灵活性。此外,VEFC 允许他们持续监控过程,因为流量和输出压力始终透明。

 

可靠保护晶圆

可靠地控制氮气等惰性气体的流量在半导体行业中尤为重要,以避免损坏晶圆。通过专注于惰性气体而无需介质分离,事实证明,在控制装载端口或 EFEM 中的氮气时,VEFC 是市场上其他解决方案的有利替代方案。

 

经济、可靠、精确的 N2 吹扫

通过在加载端口中安装 VEFC,可以在各个吹扫步骤中控制不同的流速。它确保仅使用绝对必要量的氮气,无论是在预吹气、预吹扫、过程吹扫和后吹扫期间。用户因此可以节省氮气并缩短达到干燥保护气体气氛的处理时间。
相关新闻
推荐新闻 RECOMMEND NEWS